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射頻電源匹配器一體機

KVMEN?  AGM系列全固態射頻電源匹配器一體機,采用目前技術最穩定可靠的功放和直流模塊,從而使產品提供極其穩定的射頻功率輸出,產品更堅固耐用。

內部集成匹配器模塊,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

元器件質量高而數量少,使產品的可靠性和設備生命周期最大化。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單,可在設備的控制面板上直接使用,提供獨一無二的易操作性,提高操作者效率,最小化培訓成本。

性能參數

AGM-1303

功率輸出范圍

5W-300W

最大反射功率

100W

功率穩定度

±0.1%

諧波分量

-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機效率

70%

功率因素

90%

匹配器最大傳輸功率

500w

反射功率(最大功率時)

<3w

最大負荷電流

30ARMS

最大負荷電壓

7500VRMS

RF輸出連接器

50 Ω, L29,或可定制

匹配時間

1~3s

可匹配阻抗實部范圍

0~80Ω

可匹配阻抗虛部范圍

200j~ 200j

冷卻方式

強制風冷

整機重量

19.5kg

整機尺寸

133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D)


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