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氣體質量流量控制器


WARWICK?系列氣體質量流量控制器(MFC)產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品,流量精準度及性價比高,先進的傳感器和閥控技術,經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制,可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體,平板顯示,數據存儲,真空工業,ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。

規格

MC-AN600

MC-AN601

MC-AN602

MC-AN610

MC-AN611

量程范圍

單氣體 2-5000SCCM

單氣體 5-50SLM

單氣體   30-200SLM

單氣體2-5000SCCM

單氣體  5-50SLM

閥門類型

常開式或常閉式螺線管

接頭

1/4VCR1/4Swagelok

密封

橡膠

金屬

響應時間

到達設定點±2%所需時間≤1SEC

3SEC

到達設定點±2%所需時間≤1SEC

精確性

≤滿量程1%

≤滿量程2%

≤滿量程1%

線性度

≤滿量程±0.5%

≤滿量程±1%

≤滿量程±0.5%

重復性

≤滿量程±0.2%

壓差

7-40PSI

21-40PSI

7-40PSI

漏率

MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

控制范圍

滿量程的2-100%

最高操作壓力

50PSI

承受壓力

最大值150PSI

通訊模式

模擬0-5V/4-20MA

輸入電壓

+15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

控制信號

0-5VDC/4-20MA

輸出模擬信號

0-5VDC/4-20MA

功耗

3.1W

3.5W

3.1W

溫度范圍

5-45°

材料

316LSS,316SS,PTFE,KM45

重量

0.9KG

2.2KG

1.0KG

1.2KG

 


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