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自動匹配器

KVMEN?  AM系列數字式自動匹配器,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,利用我們成熟的專業技術力量,AM自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

優勢

功能

● 提高生產力、增加產量、降低生產成本
● 長期穩定的制程時間保證
● 易于安裝和操作
● 快速、精確和可重復的阻抗匹配
● 最佳的、可直接應用的功能,滿足多種應用領域需求
● 多功率和頻率范圍

性能參數

AM-1310

AM-1315

AM-1320

頻率

13.56MHz ±0.005%  27.12MHz\40.68MHz

最大傳輸功率

1000w

1500W

2000W

反射功率(最大功率時)

<3w

<3w

<5w

最大負荷電流

30ARMS

30ARMS

30ARMS

最大負荷電壓

7500VRMS

7500VRMS

7500VRMS

傳輸效率

>90%

匹配時間

1~3s

主電容

雙真空電容

可匹配阻抗實部范圍

0~80Ω

可匹配阻抗虛部范圍

-j200~~+j200

RF輸出連接器

50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制

控制接口

自動手動控制窗口

冷卻方式

風冷

風冷

風冷+水冷

供電電壓

單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

重量

7.5KG

8KG

尺寸

430mmDx220mmWx130mmH)或可定制


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